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              产品中心

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              首页 产品中心高温炉、干燥箱,培护箱TF1200-PECVD型等离子增强化学气相沉积系统
                等离子增强化学气相沉积系统
              • 产品名称:等离子增强化学气相沉积系统
              • 产品型号:TF1200-PECVD型
              • 产品外观:查看大图
              • 产品概述

                TF1200-PECVD型等离子增强化学气相沉积系统

                PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor

                Deposition)  等离子体增强化学气相沉积法

                等离子增强化学气相沉积系统

                设备介绍: 

                本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。

                产品简介

                此款设备配有Plasma实现等离子增强,滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置,可准确的控制反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用,工艺重复性好对于石墨烯生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。

                主要组成系统及特点:

                 

                本设备主要由管式加热炉体,真空系统,质子流量供气系统,射频等离子源,石英反应腔室等部件组成。

                要特点:

                    1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

                    2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。

                    3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。

                    4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。

                    5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

                 

                 

                开启式真空管式炉技术参数

                 

                 

                 

                 

                石英管尺寸

                L1400mm  *(根据需求选择不同直径的石英管作为反应室。有Φ40,Φ60,Φ80,Φ100,Φ120,Φ150等规格可选。)

                加热元件

                掺钼铁铬铝合金电阻丝

                测温元件

                K型热电偶

                加热区长度

                400mm  

                恒温区长度

                200mm

                工作温度

                ≤1100℃

                控温模式

                模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

                控温精度

                ±1℃

                升温速率

                ≤20℃/min

                电功率

                AC220V/50HZ/3KW

                质量供气系统技术参数(根据需求选择多路质子流量供气系统。有两路GQ-2Z,三路GQ-2Z,四路GQ-2Z,五路GQ-2Z或更多路供选择。)

                 

                 

                 

                 

                 

                外形尺寸

                600x600x600mm

                标准量程

                50sccm(CH4)、200sccm(H2)、500sccm(ArN2

                数显压力表测量范围

                -0.1Mpa~0.15Mpa

                极限压力

                3MPa

                针阀

                316不锈钢

                截止阀

                Φ6mm 316不锈钢针阀

                电功率

                AC220V/50HZ/20W

                响应时间

                气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

                准确度

                ±1.5%

                线性

                ±0.5~1.5%

                重复精度

                ±0.2%

                接口

                Φ6,1/4''

                真空系统技术参数(根据需求选择不同真空效果的真空系统。有DZK10-1(极限真空0.1Pa),GZK10-3(极限真空0.001Pa),以及进口高真空机组(极限真空0.0001Pa)供选择。)

                 

                 

                 

                 

                 

                外型尺寸

                600×600×600mm

                工作电电压

                220V±10%  50~60HZ

                功率

                400W

                抽气速率

                4Ls

                极限真空

                4X10-2Pa

                实验真空度

                1.0X10-1Pa

                容油量

                1.1L

                进气口口径

                KF25

                排气口口径

                KF25

                转速

                1450rpm

                射频电源(根据需求选择强度不同的射频电源。有DLZ300(300W),DLZ500(500W)或更大功率的射频电源供选择)

                 

                信号频率

                13.56 MHz±0.005%

                功率输出范围

                5-300W   5W-500W可选

                最大反射功率

                200W

                射频输出接口

                50 Ω, N-type, female

                功率稳定度

                ±0.1%

                谐波分量

                ≤-50dbc

                供电电压

                单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

                整机效率

                >=70%

                功率因素

                >=90%

                冷却方式

                强制风冷

                 

                艾科迅部分客户(CVD及PECVD及管式炉系列)

                等离子增强化学气相沉积系统

                常见PECVD系统组合

                   1. 1200度60滑轨式微型管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,300W射频电源

                    TF1200-60S-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ300

                   2. 1200度60滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源

                    TF1200-60-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500

                   3. 1200度60双温区滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源

                    TF1200-60II-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500

                   4. 1200度60三温区滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源

                    TF1200-60III-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500

                   5. 1200度60微型预热炉,1200度60滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源

                    TF1200-60S,MXG1200-60-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500

                上海交通大学

                上海理工大学

                华东师范大学

                上海海洋大学

                同济大学

                上海电力大学

                上海工程技术大学

                华东理工大学

                清华大学

                复旦大学

                重庆大学

                贵州大学

                济南大学

                青岛大学

                吉林大学

                香港大学

                江南大学

                湖北大学

                北京科技大学

                广西师范大学

                华南师范大学

                山东理工大学

                华南农业大学

                河南农业大学

                沈阳航天航空大学

                哈尔滨工业大学

                湘潭大学

                赣南师范学院

                四川大学

                华侨大学

                苏州大学

                安徽医科大学

                浙江大学

                南京理工大学

                西北工业大学

                西安交通大学

                兰州大学

                广东工业大学

                暨南大学

                中国地质大学

                湖南农业大学

                湖北理工学院

                太原理工大学

                黄淮学院

                北京大学

                中国石油大学(北京)

                天津理工大学

                中山大学

                乐山师范学院

                云南大学

                四川理工大学

                沈阳航空航天大学

                大 学

                西安航天165所

                中科院生态环境所

                中科院金属研究所

                中电科技集团13所

                绍兴技术监督检测院

                锡矿山闪星锑业

                四川新材料研究中心

                中电科技集团49所

                中国建筑科院研究院

                重庆钢铁研究所

                上海应用物理所

                长春应用化学研究所

                山西煤炭化学研究所

                航天推进技术研究所

                上海硅酸盐研究所

                广州能源研究所

                四川材料与工艺研究所

                北方涂料工业研究设计院有限公司

                科研单位

                江西吉阳集团

                内蒙古天宇集团

                佳英特能源材料公司

                北京东旭集团

                新疆庆华能源集团

                山东通用光伏能源有限公司

                青岛韩亚重工

                安徽天康集团

                河北神通光电科技有限公司

                日照华轩新能源有限公司

                清美通达锂能科技有限公司

                成都登特牙科技术开发有限公司

                常州乐奥医疗科技有限公司

                邦迪管路系统(上海)有限公司

                温州天球电器有限公司

                凯锐众成金刚石工具有限公司

                中联科伟达技术股份有限公司

                三鑫重工机械设备有限公司

                辽宁锦州金属有限公司

                青海新型建材工贸有限公司

                惠州拓普金属材料有限公司

                AEM科技(苏州)有限公司

                深圳双德先进陶瓷有限公司

                唐山华运铁路交通器材有限公司

                上海合全药业股份有限公司

                东莞大洲电子材料有限公司

                慈溪大旗机械科技有限公司

                苏州迈众注塑系统有限公司

                东莞迈科科技有限公司

                苏州大洋精锻有限公司

                天津索克汽车试验有限公司

                苏州太智机电有限公司

                上海铁高国际贸易有限公司

                黄石沪士电子有限公司

                株洲冶炼集团股份有限公司

                贵州皓天光电科技有限公司

                哈尔滨亚源电力有限公司

                马尔精密量仪(苏州)有限公司

                湖南元素密码烯高科技有限公司

                中山翔江精密光学有限公司

                天通控股股份有限公司

                上海超硅半导体有限公司

                苏州海铂晶体有限公司

                晶能光电(江西)有限公司

                唐山晶源电子有限公司

                青岛嘉星晶电科技有限公司

                常州好利来光电科技有限公司

                三安光电股份有限公司

                 

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